工業上所見到的無機鹽污垢大多數是從水中析出的，即以水垢的形式出現。當水中存在硫酸鈣、硅酸鈣等無機鹽，以及在水質處理過程中加入磷酸鹽等時，在設備的受熱面上，因水受熱蒸發，鹽的局部濃度增大。當其離子濃度積大于對應的鹽的溶度積時，即生成鹽垢沉積到設備表面。

設備表面受腐蝕的產物、空氣中飛揚的塵土、水中滋生的微生物等也可能成為水垢的組成部分。但由于這種污垢主要成分是無機鹽，故稱之為無機鹽垢。

水垢分別有碳酸鹽垢、硫酸鹽垢、硅酸鹽垢、磷酸鹽垢等。

鐵銹是鋼鐵在環境介質的化學或電化學作用下，在其表面生成的難溶的產物，以+3或+2價鐵的氧化物或氫氧化物為主要成分，有時還有少量鐵鹽。

鋼鐵在干燥大氣中被氧化，生成組分為Fe、Fe2o3或Fe3o4氧化皮。在潮濕的大氣中，鋼鐵被腐蝕首先生成的主要是Fe2o3·nH20，再生成Fe3o4；當銹層干燥，氧氣可以透過時，Fe3o4又被所透過的氧氣氧化成鐵紅色的Fe2o3。鋼鐵在充氧的中性和堿性水溶液中，由于鋼鐵容易發生鈍化，只生成很薄的氧化膜，不構成銹垢。當達不到鈍化狀態時，其腐蝕產物一般是+2或+3價鐵的氧化物或氫氧化物以及某些鐵鹽。

微生物污垢又稱為微生物軟泥或粘泥，是微生物在繁殖過程中分泌的粘稠液，把環境中的無機鹽、砂塵土、腐蝕產物、淤泥、油污等粘結在一起，而形成的粘泥狀沉積物。工業循環水系統中常見的微生物有細菌、真菌、藻類等。

油脂垢是由油脂、環境中沉積的塵土、鹽粒、水分等疏油性雜質，以及清洗對象的物體表面質變的產物等組成的，呈粘稠狀富油沉淀。油脂通常分為植物油、動物油和礦物油等，石油化工生產過程中產生的油垢主要是由礦物油--石油及其產品形成。